載置台構造及び処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-026987
公開番号（公開出願番号）：特開2011-165891
出願日： 2010年02月09日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：

【課題】載置台と支柱との連結部の強度及び支柱自体の強度を向上させることが可能な載置台構造を提供する。【解決手段】排気可能になされた処理容器22内に設けられて処理すべき被処理体Wを載置するための載置台構造54において、被処理体を載置するために少なくとも加熱手段64が設けられた誘電体よりなる載置台58と、載置台を支持するために処理容器の底部側より起立させて設けられると共に、上端部が載置台の下面に連結されて、内部に長さ方向に沿って形成された複数の貫通孔60を有する誘電体よりなる支柱63とを備える。これにより、載置台と支柱との連結部の強度及び支柱自体の強度を向上させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

排気可能になされた処理容器内に設けられて処理すべき被処理体を載置するための載置台構造において、前記被処理体を載置するために少なくとも加熱手段が設けられた誘電体よりなる載置台と、前記載置台を支持するために前記処理容器の底部側より起立させて設けられると共に、上端部が前記載置台の下面に連結されて、内部に長さ方向に沿って形成された複数の貫通孔を有する誘電体よりなる支柱と、を備えたことを特徴とする載置台構造。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 R

Fターム (15件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA18 , 5F031HA19 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031HA57 , 5F031JA46 , 5F031MA29 , 5F031NA03 , 5F031NA04 , 5F031NA05 , 5F031NA20 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (5件)

ワークを加熱または冷却するための装置と、その製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-228395 出願人：日本発条株式会社
ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-374333 出願人：日本発条株式会社
特開昭63-278322

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