誘電体バリア放電ランプ装置

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-312155
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135279
特許番号：特許第3591393号
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】長手方向に伸びる側壁と当該側壁の両端に設けられた端壁とによって密閉された収納ケース内に、少なくとも1つ以上の誘電体バリア放電ランプが配置され、前記収納ケースの側壁の少なくとも一部が誘電体バリア放電ランプから放射された光を透過する窓部となっており、前記収納ケースの端壁には収納ケース内を不活性状態にするガスが流通する流通路が形成されており、前記誘電体バリア放電ランプが配置された収納ケースが、その窓部をそれぞれ被処理物方向に向くように複数個並べて配置されていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。

IPC (1件)：