電子装置の表面信号操作用融着プローブ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三木久巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116940
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249712
特許番号：特許第3441397号
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子顕微鏡の中で直接観察しながら組み立てられるプローブであり、ナノチューブ24と、このナノチューブ24を保持させるホルダー2aと、前記ナノチューブ24の基端部24bを基端部長さBの範囲に亘って前記ホルダーの表面に電気的接触状態で付着させて電子顕微鏡の中で基端部24b自体を自己変質させてホルダー2aに融着させた融着部24dと、前記ホルダー2aから突出するように配置されたナノチューブ24の先端部24aから構成され、この先端部24aを探針とすることを特徴とした表面信号操作用融着プローブ。

IPC (3件)：