塗布液塗布装置及び塗布液塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315001
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129459
特許番号：特許第4054145号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転接触して搬送される接合部を有するウエブに塗布液を塗布するバーと、前記バーを前記ウエブに対して接離させる昇降手段と、前記バーと前記ウエブの間に形成される液溜まりと、前記液溜まりへ塗布液を送液する送液管と、前記送液管に設けられ、前記接合部の手前で前記バーが前記ウエブから離れて塗布動作を終了する前に伸張して塗布液を送液管から吸引し、また、前記接合部の通過後、前記バーが前記ウエブへ接触して塗布動作を開始する前に収縮して塗布液を送液管へ吐出する伸縮容器と、を有することを特徴とする塗布液塗布装置。

IPC (3件)：