特許

J-GLOBAL ID：201103025160343717

可干渉性動的焦点による光学コヒーレンストモグラフィー法及びその装置

発明者： アドルフ フリードリッヒ フェルヒェル ,  フランツ レクセル (原語表記)Franz LexerEgon Luther ,  ハラルド サッツマン (原語表記)Harald Sattmann
出願人/特許権者： カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 松田 省躬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087674
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002506
特許番号：特許第4431750号
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 計測光36(図2)を、まず可動プレート鏡41の鏡面の前あるいは背後に集束させ、可動プレート鏡に向けて照射された計測光の入射光線と反射光線とで形成される角度α(図2)が、角度π以下となるように設定された当プレート鏡で被測定物体の方向へ反射させ、また計測光焦点40を可動プレート鏡41及びその他のレンズを通して被測定物体に結像させることを特徴とし、参照光による干渉のために参照腕で必要とする光路長として、物体内計測光に沿ってそれぞれ測定する短コヒーレンス干渉計の計測光を用い、その計測光を辿って行った観察物体の走査、透過に基づき、光の反射位置を記録することを基礎とする、横方向分解能を高めたコヒーレンストモグラフィー法であって、 横方向分解能を最大限上げるために計測光をそれぞれ観察物体の反射位置に集束させ、また、計測光の焦点を測定長に沿って動かす場合は、参照光に対して可干渉性を維持し、さらには、必要となる計測光の焦点移動及び参照光に対する可干渉性の確保に必要な光路長補正を転向プリズム38及び/又は鏡35で一旦行なうことによって実現できる可干渉性動的焦点による光学コヒーレンストモグラフィー法

IPC (2件)：

G01B 9/02 ( 200 6.01) ,  G01N 21/17 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01N 21/17 620

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 動的コヒーレント焦点によるコヒーレンス生物測定及び 断層撮影の方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-182857   出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 球体表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-078145   出願人：日本精工株式会社
• 表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-344525   出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
• 特開平1-244306