特許
J-GLOBAL ID：201103025755354011
基板の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265542
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162571
特許番号：特許第3255627号
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】マトリクス状に配置された画素電極と、これら画素電極の行に沿って配置される複数の走査線と、前記走査線に沿って配置され第1電圧が印加される複数の補助容量線と、前記画素電極の列に沿って形成され第2電圧と前記第2電圧よりも高い第3電圧との間の所定電圧が印加される複数の信号線と、前記走査線と前記信号線との交点近傍に配置されるとともに前記信号線に印加された前記所定電圧を前記画素電極に選択的に印加する複数のスイッチ素子と、前記各画素電極毎に前記補助容量線に絶縁膜を介して対向配置されるとともに前記画素電極と連結配線を介して電気的に接続され前記所定電圧が印加される補助容量電極と、を備えた基板の検査方法において、すべての画素に一括に、複数本の前記走査線に接続されるスイッチ素子を導通状態として、前記補助容量線と前記補助容量電極との間の電位差を、前記第1電圧と前記所定電圧との最大電位差と実質的に等しい、または大きく設定した状態で所定時間維持する電圧印加工程と、前記補助容量線と前記補助容量電極との実質的な短絡を検出する検査工程と、前記連結配線は前記補助容量線、前記補助容量電極及び前記画素電極と重ならない露出部分を有し、前記補助容量線と前記補助容量電極との実質的な短絡が検出された場合、前記露出部分にレーザビームを照射して、前記補助容量電極と、対応する前記画素電極とを電気的に切り離す修復工程と、を備えたことを特徴とする基板の検査方法。
IPC (6件)：
G02F 1/13 101
, G01N 27/00
, G01R 31/02
, G02F 1/1368
, G09F 9/00 352
, G09F 9/30 338
G02F 1/13 101
, G01N 27/00 Z
, G01R 31/02
, G09F 9/00 352
, G09F 9/30 338
, G02F 1/136 500
