特許
J-GLOBAL ID：201103026224148456
光画像撮像装置及びその制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-209319
公開番号（公開出願番号）：特開2011-125683
出願日： 2010年09月17日
公開日（公表日）： 2011年06月30日
要約：
【課題】 撮像分解能に応じた適切な有効領域で補正デバイスを動作させることができ、迅速に高画質の撮像が可能となる補償光学系を備えた光画像撮像装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る光画像撮像装置は、 被検査物の収差を補正する補正手段の有効領域又は解像度を設定する設定手段と、 被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、 測定された収差及び設定された有効領域、又は測定された収差及び設定された解像度に基づいて補正手段を制御する制御手段と、を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検査物に測定光を照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物の光画像を撮像する光画像撮像装置の制御方法であって、
前記補正手段の有効領域又は解像度を設定する設定工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差及び前記設定された有効領域、又は、前記測定された収差及び前記設定された解像度、に基づいて前記補正手段の補正量を計算する計算工程と、
前記計算された補正量に基づいて前記補正手段を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする光画像撮像装置の制御方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
A61B3/10 R
, A61B3/12 E
, A61B3/10 N
2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059EE17
, 2G059FF02
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059LL01
, 2G059MM01
