ナノ粒子の表面粗さ測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：前田弘 , 竹内祐二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-087417
公開番号（公開出願番号）：特開2011-220723
出願日： 2010年04月06日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】直接ナノ粒子の表面粗さを精度よく測定する。【解決手段】原子間力顕微鏡を用いてナノ粒子の表面粗さを測定する方法は、表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより基板上にナノ粒子を固定する工程1と、工程1でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する工程2と、工程2で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上に固定されたナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する工程3とを含む。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

原子間力顕微鏡を用いてナノ粒子の表面粗さを測定する方法であって、表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより該基板上にナノ粒子を固定する工程1と、上記工程1でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する工程2と、上記工程2で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上に固定されたナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する工程3と、を含むナノ粒子の表面粗さ測定方法。

IPC (3件)：

G01Q 30/20 , G01B 5/28 , G01Q 60/24

FI (3件)：

G01N13/10 121K , G01B5/28 102 , G01N13/16 101

Fターム (8件)：

2F062AA66 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062FF02 , 2F062HH05 , 2F062HH14 , 2F062JJ00 , 2F062MM01

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査プローブ顕微鏡による固体微粒子の観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-285449 出願人：トヨタ自動車株式会社
高分子微粒子の固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-108167 出願人：京セラケミカル株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-366748 出願人：株式会社島津製作所

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