静電型アクチュエータ

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上柳雅誉 , 須澤修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104235
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299991
特許番号：特許第4051811号
出願日： 1999年04月12日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一定の間隔で対向配置された相対変位可能な第1および第2の電極部材と、これらの電極部材の間に静電気力を発生させて当該電極部材を相対変位させる駆動手段と、前記第1および第2の電極部材のうちの少なくとも一方の部材における他方の部材との対向表面に形成された疎水膜とを有する静電型アクチュエータにおいて、前記第1および第2の電極部材の間には、これらの部材間の放電を抑制するための放電抑制ガスが気密封入されており、 _前記放電抑制ガスは、CF4、SF6、ブタン、エチルアルコールを含む群より選択されたものであることを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (3件)：