走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：喜多俊文 , 江口裕之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014003
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214066
特許番号：特許第4218107号
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】断面形状をプローブ側に凸の半円形とする柱状体からなる突出部を複数備え、該複数の突出部を、隣接する突出部の相対する傾斜面が接触するように配置するプローブ劣化判定用試料と、前記プローブ劣化判定用試料を走査して得られる測定データの高さ方向の高低差としきい値とを比較し、比較結果に基づいてプローブの劣化判定を行うプローブ劣化判定手段とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (1件)：