ペリクル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木敏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117414
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305256
特許番号：特許第3330898号
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一方の端面に接着されたペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他方の端面に塗布された粘着材とを有するペリクルにおいて、前記ペリクルフレームの前記粘着材の塗布開始及び塗布終了が重なる部分に、前記ペリクルフレームの端面の内側を残し、外側を削り取った切欠きを形成したことを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：