特許
J-GLOBAL ID：201103027906044209
ウエハカセットのウエハ保持システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
清水 善廣
, 阿部 伸一
, 辻田 幸史
, 田代 作男
, 町田 悦夫
, 打揚 洋次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043260
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243814
特許番号：特許第4283926号
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ロボットハンドの平坦面に真空吸引孔を複数個設けシリコンウエハ等のウエハを前記平坦面に真空吸引可能なロボットハンドに構成したウエハ保持装置を昇降進退させてウエハカセットケースに多段にストックしたウエハを保持するようにしたウエハカセットケースのウエハ保持システムにおいて、前記ウエハカセットケースの各段に挿入された前記ロボットハンドの真空吸引孔に向けてガスを吹き付けることができるように左右に分岐したガスノズルを多段に設けたノズルユニットを備えるようにしたことを特徴とするウエハカセットのウエハ保持システム。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B25J 15/06 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/68 B
, B25J 15/06 N
, B65G 49/07 G
