半導体装置の製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-032231
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232084
特許番号：特許第4060018号
出願日： 2000年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】排出口及び流入口を具備し、化学溶液を貯蔵するタンクと、前記タンクの排出口及び流入口の間に介在して前記タンク内の化学溶液を循環させるポンプと、前記ポンプ及び前記タンクの流入口の間に介在するフィルターと、前記フィルターの排出口と連結されて所定の工程を実施する少なくとも一つの本体と、前記ポンプのポンピング動作を感知してポンピング動作を示すパルス信号を発生するポンピング周期感知器と、前記パルス信号の周期を測定することによって前記フィルターの劣化状態を判別する制御器と、を含む半導体装置の製造装置であって、前記制御器は、前記ポンプの最大許容動作周期を貯蔵するポンピング周期設定部と、前記ポンピング周期感知器からパルス信号が入力される度に論理状態が変わるトグル信号を出力させるポンピング周期信号発生器と、前記ポンピング周期信号発生器から出力されるトグル信号を入力信号として使用して前記ポンプの動作周期を測定するポンピング周期測定部と、前記ポンピング周期設定部の第1出力信号と前記ポンピング周期測定部の第2出力信号とが相互に同一か否かを判別する比較器と、前記ポンピング周期感知器及び前記ポンピング周期信号発生器の間に介在された第1スイッチと、前記ポンピング周期信号発生器及び前記ポンピング周期測定部の間に介在された第2スイッチと、前記測定されたポンプの動作周期が前記ポンピング周期設定部に設定された前記ポンプの最大許容動作周期と同一な場合、警告音を発生させると共に前記第1及び第2スイッチを同時に開放して前記ポンピング周期信号発生器及び前記ポンピング周期測定部の動作を停止させる警報装置と、前記ポンピング周期信号発生器及び前記ポンピング周期測定部を初期化させるリセットスイッチと、を含み、前記ポンプは、空気排出口及び空気吸入口を具備するダイアフラムポンプであり、前記ポンピング周期感知器は、前記ポンプの空気排出口の前に設けられ、バネにより支持されるボタンを具備するスイッチと、前記スイッチのボタン及び前記空気排出口の間に設けられ、一端が前記スイッチの本体とヒンジで連結されたパネルとを含む、ことを特徴とする半導体装置の製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) , B01D 29/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/304 622 Z , B01D 29/00 D

引用特許：

審査官引用 (12件)

半導体基板の鏡面研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-270007 出願人：住友シチックス株式会社
特開平1-148319
特開平3-156191

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