特許

J-GLOBAL ID：201103028367050697

導電性走査型顕微鏡用プローブ

発明者： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  大川 隆 ,  高野 雄一 ,  原田 昭雄 ,  安武 正敏 ,  白川部 喜春
出願人/特許権者： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社 ,  エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403559
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162336
特許番号：特許第3811004号
出願日： 2000年11月26日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】カンチレバーに固着された導電性ナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、カンチレバーの突出部表面に基端部を接触配置された導電性ナノチューブと、この導電性ナノチューブから分離されて前記カンチレバーの突出部及びカンチレバー部の表面に形成された導電性被膜と、この導電性ナノチューブの基端部から前記導電性被膜の一部を被覆して導電性ナノチューブを固定する堆積物から構成され、この堆積物が有機金属ガスを電子ビーム又はイオンビームで分解して堆積させた金属堆積物であり、導電性ナノチューブと導電性被膜を金属堆積物により導通状態にしたことを特徴とする導電性走査型顕微鏡用プローブ。

IPC (5件)：

G01N 13/16 ( 200 6.01) ,  G01N 13/12 ( 200 6.01) ,  G12B 21/02 ( 200 6.01) ,  B82B 1/00 ( 200 6.01) ,  B82B 3/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G01N 13/16 C ,  G01N 13/12 D ,  G12B 1/00 601 A ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法、及びこれにより形成されたプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡、情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-203776   出願人：キヤノン株式会社
• 走査型探針顕微鏡用探針、その製造方法、当該探針を用いた記録再生装置及び微細加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-231401   出願人：松下電器産業株式会社
• 炭素原子クラスターイオン生成装置及び炭素原子クラスターイオンの生成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-073589   出願人：科学技術振興事業団

審査官引用 (3件)

• 原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法、及びこれにより形成されたプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡、情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-203776   出願人：キヤノン株式会社
• 走査型探針顕微鏡用探針、その製造方法、当該探針を用いた記録再生装置及び微細加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-231401   出願人：松下電器産業株式会社
• 炭素原子クラスターイオン生成装置及び炭素原子クラスターイオンの生成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-073589   出願人：科学技術振興事業団

引用文献：

出願人引用 (1件)

• "Terabit-per-square-inch data storage with the atomic force microscope"