特許
J-GLOBAL ID：201103028460652192
ウェハ分割装置及びウェハ分割方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-257328
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085362
特許番号：特許第3367482号
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】所定の形状の凹面を有するウェハ支持台と、裏面に粘着シートを貼り付けたウェハを前記ウェハ支持台に固定する固定手段と、線状の鋭利な突起を有し、該線状突起で前記ウェハの所定の位置に荷重・衝撃を付加する第1の分割手段と、点状の鋭利な突起を有し、該点状突起で前記線状突起の稜線の延長線上であって前記ウェハの端部に衝撃を付加する第2の分割手段と、を少なくとも備えたことを特徴とするウェハ分割装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 M
, H01L 21/78 V
