特許
J-GLOBAL ID：201103028544392943

静電チャック

発明者：
亀山 亮介

亀山 亮介 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 渥美 久彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-209947
公開番号（公開出願番号）：特開2011-061049
出願日： 2009年09月11日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】接着剤層の厚さを均一にすることにより、吸着面の平面度と金属ベースの表面に対する吸着面の平行度とを高めることができる静電チャックを提供すること。【解決手段】静電チャック1は、セラミック絶縁板10及び金属ベース30を備える。金属ベース30は、接着剤層20を介してセラミック絶縁板10に接合される。静電チャック1は、吸着用電極層51に電圧を印加させた際に生じる静電引力を用いて被吸着物をセラミック絶縁板10の第1主面11に吸着させる。また、接着剤層20内には、セラミック絶縁板10の第2主面12と金属ベース30の第1面31とに接触して接着剤層20の厚さを保持する複数のセラミック球21が配置される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1主面及び第2主面を有するとともに内部に吸着用電極層を有するセラミック絶縁板と、第1面及び第2面を有するとともに前記第1面が前記セラミック絶縁板の前記第2主面側に接着剤層を介して接合される金属ベースとを備え、前記吸着用電極層に電圧を印加させた際に生じる静電引力を用いて被吸着物を前記第1主面に吸着させる静電チャックにおいて、 前記接着剤層内に、前記セラミック絶縁板の前記第2主面と前記金属ベースの前記第1面とに接触して前記接着剤層の厚さを保持する粒径の揃った複数のセラミック球が配置されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 R
Fターム (10件)：
5F031CA02 ,  5F031GA09 ,  5F031GA32 ,  5F031GA33 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031HA39 ,  5F031MA32 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (4件)
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