特許
J-GLOBAL ID：201103028724811081

複合センサ素子およびその製造方法

発明者：
田村 昌弥

田村 昌弥 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-189652
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005950
特許番号：特許第3435665号
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 角速度センサと加速度センサが一体化されて成る複合センサ素子であって、角速度に起因したコリオリ力により振動変位する角速度センサ用の振動体と、加速度印加によって可動変位する加速度センサ用の可動体とが、基台上に配設された同一の変位部形成部材によって、互いに間隔を介して変位可能な状態に形成され、上記変位部形成部材の上方側には上記角速度センサ用の振動体と加速度センサ用の可動体を間隔を介して覆う蓋部材が設けられており、上記基台と変位部形成部材と蓋部材によって、上記角速度センサ用の振動体と加速度センサ用の可動体を振動可能な状態で収容封止する空間部が形成されており、この空間部は上記角速度センサ用の振動体を収容封止する角速度センサ用空間部と、該角速度センサ用空間部とは連通していない上記加速度センサ用の可動体を収容封止する加速度センサ用空間部とに区分され、上記角速度センサ用空間部は上記角速度センサ用の振動体がkHzオーダー以上の高周波数、かつ、設定以上の大きな振幅でもって振動可能な真空状態に封止され、また、上記加速度センサ用空間部は上記加速度センサ用の可動体が100Hz 以下の低周波数で振動可能で、かつ、上記角速度センサ用の振動体の振動が上記加速度センサ用の可動体に伝搬しても該加速度センサ用の可動体がkHz オーダー以上の高周波数、かつ、設定以上の大きな振幅でもって振動することを防止する高周波振動抑制用の気圧状態に封止されるか、あるいは、高周波振動抑制用のダンピング剤が充填されている状態で封止され、上記角速度センサと加速度センサにはそれぞれ設定の定電位に維持される定電位部位を有し、それら角速度センサの定電位部位と加速度センサの定電位部位は導通接続されており、それら角速度センサの定電位部位と加速度センサの定電位部位を外部の回路に接続するための共通の接続用電極部が設けられていることを特徴とした複合センサ素子。
IPC (5件)：
G01P 15/08 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (5件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 Z ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/08 P
引用特許：
審査官引用 (6件)
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