表面性状測定機用検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-310941
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133248
特許番号：特許第3443054号
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】先端に触針を有するスタイラスアームが着脱自在に取り付けられたアーム部材を回動自在にケーシングに支持した表面性状測定機用検出器において、前記アーム部材の回動中心の両側にピボット軸をそれぞれ取り付け、これらのピボット軸のうち一方のピボット軸の先端部と係合する玉軸受を前記ケーシングに固定し、他方のピボット軸の先端部と係合する玉軸受を板ばねを介して前記ケーシングに取り付け、この板ばねは、前記玉軸受を前記ピボット軸に付勢するとともに、その一端部を前記ケーシングに固定し、その他端部を前記玉軸受に固定し、この玉軸受は前記板ばねに追随して可動する構造としたことを特徴とする表面性状測定機用検出器。

IPC (2件)：