特許

J-GLOBAL ID：201103028783437371

プローブカード及び検査装置

発明者： 清藤 英博 ,  田中 健太郎 ,  加藤 信司
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (2件)： 工藤 宣幸 ,  若林 裕介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-232441
公開番号（公開出願番号）：特開2011-145279
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2011年07月28日
要約：

【課題】プローブの交換、位置決め、組み立てが容易なプローブカード及び検査装置を提供する。【解決手段】本発明のプローブカードは、被検査体の各電極に電気的に接触される複数のポゴピンを備えたプローブカードであって、前記各ポゴピンを支持する支持基板を備え、当該支持基板が、前記各ポゴピンの下部を位置決めして支持する堅牢な支持部材と、前記各ポゴピンの中間部を支持する柔軟性のあるシート状支持部材とを備えた。本発明の検査装置は、プローブカードを備えた検査装置であって、当該プローブカードとして、前記プローブカードを用いた。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

被検査体の各電極に電気的に接触される複数のポゴピンを備えたプローブカードにおいて、 試験装置に接続される配線が配設された配線基板と、前記各ポゴピンを支持する支持基板を備え、 当該支持基板が、前記各ポゴピンの下部を位置決めして支持する堅牢な支持部材と、前記各ポゴピンの中間部を支持する柔軟性のあるシート状支持部材とを備えたことを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R1/073 E ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (14件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G011AA09 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 垂直型コイルスプリングプローブとこれを用いたプローブユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-346535   出願人：日本電子材料株式会社
• 電気的接続装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-338987   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-223567   出願人：東邦電子株式会社