特許
J-GLOBAL ID：200903086793759514
垂直型コイルスプリングプローブとこれを用いたプローブユニット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大西 孝治
, 大西 正夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-346535
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153723
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【目的】 より細い垂直型コイルスプリングプローブであっても確実に接触荷重を確保することができ、数十万回のオーダーの使用に耐えることができるようにする。【構成】 垂直型コイルスプリングプローブAは、プローブカードを構成する中間基板600の導電パターン610に接続される上側プローブピン接続部110を有する上側プローブピン100と、被測定対象物である半導体集積回路700の導電パッド710に接触する下側プローブピン接続部210を有する下側プローブピン200と、両プローブピン100、200の間に介在される第1の圧縮コイルスプリング300と、この第1の圧縮コイルスプリング300の内側に位置し、両プローブピン100、200の間に介在される導電性を有する第2の圧縮コイルスプリング400とを有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プローブカードの導電パターンに接続される上側プローブピン接続部を有する上側プローブピンと、被測定対象物の導電パッドに接触する下側プローブピン接続部を有する下側プローブピンと、両プローブピンの間に介在される第1の圧縮コイルスプリングと、この第1の圧縮コイルスプリングの内側に位置し、両プローブピンの間に介在される導電性を有する第2の圧縮コイルスプリングとを具備したことを特徴とする垂直型コイルスプリングプローブ。
IPC (4件)：
G01R 1/067
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R1/067 C
, G01R1/073 E
, G01R31/26 J
, H01L21/66 B
2G003AA07
, 2G003AG04
, 2G003AH00
, 2G003AH05
, 2G011AA02
, 2G011AA09
, 2G011AB01
, 2G011AB04
, 2G011AB07
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD04
, 4M106DD06
, 4M106DD10
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)
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