搬送システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373614
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189366
特許番号：特許第4209572号
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムにおいて、工程内搬送路の走行路を、平面視して重畳するように、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路に、基板を載置する載置台を備えた枚葉搬送車を配置するとともに、同一位置で、各枚葉搬送車との間で同時に基板の受け渡しを行うことができるロードポートを、工程内搬送路に沿って配設し、ロードポートに、各枚葉搬送車の載置台と工程内との間で基板の受け渡しを行う、中央部に空間を形成した枠体からなり、枚葉搬送車の載置台のアーム部を挿通できる切欠及び該切欠を有する一辺に接続される他の一辺に工程内に配設した移載装置のフォークを挿通できるようにした下方に窪ませた凹部を形成した受台を、旋回可能に、上下方向に複数段に配設し、基板の受け渡しを枚葉搬送車の載置台又はロードポートの受台の昇降動作による枚葉搬送車の載置台とロードポートの受台との交差により行うようにしたことを特徴とする搬送システム。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , B65G 49/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 Z

引用特許：

出願人引用 (6件)

ウエハの保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-314427 出願人：ソニー株式会社
真空内基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-259003 出願人：国際電気株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-256565 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

全件表示

審査官引用 (6件)

ウエハの保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-314427 出願人：ソニー株式会社
真空内基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-259003 出願人：国際電気株式会社
生産ライン
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-323353 出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

全件表示

前のページに戻る