特許
J-GLOBAL ID:201103029717688491

切欠部整列方法および切欠部整列装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 金坂 憲幸
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-064764
公開番号(公開出願番号):特開2000-260853
特許番号:特許第3916196号
出願日: 1999年03月11日
公開日(公表日): 2000年09月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】周囲に切欠部を有する複数の被処理体を容器内に収納した状態で駆動軸により回転させ、該駆動軸に切欠部を係合させることにより切欠部の整列を行う切欠部整列方法において、前記切欠部の整列後、前記駆動軸を切欠部の位置からずらし、このずらした位置にて前記駆動軸により被処理体の再回転を行うことによって切欠部を任意の位置に設定することを特徴とする切欠部整列方法。
IPC (1件):
H01L 21/68 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/68 M
引用特許:
出願人引用 (4件)
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