特許
J-GLOBAL ID：201103029963459400
重ね合わせ精度測定マークおよび重ね合わせ精度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037539
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235947
特許番号：特許第3248580号
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一の回路パターンの上部に第二の回路パターンを形成する際の重ね合わせ精度を測定するために用いられる重ね合わせ精度測定マークであって、第一の回路パターンと同じ層の所定箇所に形成された下層パターンと、第二の回路パターンと同じ層の所定箇所に形成された上層パターンとを備え、前記下層パターンと前記上層パターンとはフレームインフレーム形状もしくはバーインバー形状をなし、前記下層パターンが複数の幅の異なるパターンからなることを特徴とする重ね合わせ精度測定マーク。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G03F 9/00 H
, H01L 21/30 502 M
, H01L 21/30 502 V
, H01L 21/30 522 Z
