研磨工具およびその製造用組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 渡邊隆 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-537496
特許番号：特許第4490036号
出願日： 2001年10月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】間の空間に研磨材を有する充填材が配置され、研磨材を有する研磨要素が上に固定されたチャックプレートを含み、研磨要素がペレットの形で作られ、前記充填材のかさ密度が研磨ペレットのかさ密度の0.2-0.8であり、そして前記充填材の前記研磨材の粒度が前記研磨ペレットの前記研磨材の粒度の0.01-0.5であり、前記研磨要素を基本的な研磨ペレットとして、前記基本的な研磨ペレットの間の空間中の前記充填材が前記チャックプレートの表面に前記基本的な研磨ペレットと分離して固定された補助的な研磨ペレットの形で作られ、前記基本的なそして前記補助的な研磨ペレットの数量の比が1:1から1:4である研磨工具。

IPC (3件)：