回転軸装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷藤孝司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184872
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012615
特許番号：特許第3552029号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上端にワーク吸着部を、該ワーク吸着部の下側近傍に外周側へと圧搾ガスを噴出する圧搾ガス噴出部を夫々有する上下方向の回転軸と、前記回転軸を少なくとも上下一対の軸受を介して回転自在に支持するハウジングとを備え、前記ワーク吸着部に連通する第1真空引き通路と、前記圧搾ガス噴出部に連通する第1圧搾ガス通路とを前記回転軸に形成し、真空源に接続される第2真空引き通路と、圧搾ガス源に接続される第2圧搾ガス通路とを前記ハウジングに形成し、真空引きにより前記ワーク吸着部にワークを吸着した状態で前記圧搾ガス噴出部から圧搾ガスを噴出するようにした回転軸装置において、前記回転軸の中心部に上下方向の空隙を略同心状に形成し、前記回転軸内に、前記空隙を内径側の前記第1真空引き通路と外径側の前記第1圧搾ガス通路とに分離する上下方向の中空管を略同心状に内嵌し、前記一対の軸受間に、前記第1真空引き通路及び前記第2真空引き通路を連通する真空引き連通路と、前記第1圧搾ガス通路及び前記第2圧搾ガス通路を連通する圧搾ガス連通路とを上下に設け、前記真空引き連通路及び前記圧搾ガス連通路の上下両側に、前記回転軸側と前記ハウジング側との間をシールするラビリンスシールを夫々備えたことを特徴とする回転軸装置。

IPC (3件)：

F16J 15/447 , F16J 15/40 , H01L 21/68

FI (3件)：

F16J 15/447 , H01L 21/68 P , F16J 15/40 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

スピンコーティング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-240468 出願人：グローバルマシーナリー株式会社
回転式薬液処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054135 出願人：東京応化工業株式会社, タツモ株式会社
回転塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-064988 出願人：オリジン電気株式会社

審査官引用 (3件)

スピンコーティング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-240468 出願人：グローバルマシーナリー株式会社
回転塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-064988 出願人：オリジン電気株式会社
回転式薬液処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054135 出願人：東京応化工業株式会社, タツモ株式会社

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