レジスト形状計算方法及びレジスト形状計算システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047026
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243694
特許番号：特許第3293795号
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光強度分布とガウス関数とのコンボリューション積分によってレジスト形状計算方法を行うレジスト形状計算方法において、ウェハ上の結像特性を表す光学系のカーネル関数を拡散長の3倍だけ拡張してその部分を0で埋め、前記光学系のカーネル関数とガウス関数とのコンボリューション積分によって得られる新しいカーネル関数とマスク透過率とのコンボリューション積分によってレジスト形状計算を行うレジスト形状計算方法。

IPC (2件)：