ペリクルフレームおよびこれを用いたリソグラフィー用ペリクル

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102688
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292910
特許番号：特許第4100813号
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】粘着剤を塗布して露光用原版に貼り付けるペリクルフレームにおいて、該ペリクルフレームの底面に形成された粘着剤層が、底面全周に亘って内側から障壁となる構造までを覆うように設けられたものであることを特徴とするペリクルフレーム。

IPC (1件)：