特許
J-GLOBAL ID:201103031914082214

樹脂組成物、樹脂膜の形成方法及び半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-221170
公開番号(公開出願番号):特開2001-044190
特許番号:特許第4332764号
出願日: 1999年08月04日
公開日(公表日): 2001年02月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 (A)ポリキノリン樹脂又はポリキノキサリン樹脂、(B)前記(A)と相分離を形成し、重量平均分子量が5,000〜1,000,000である前記(A)以外の樹脂、(C)下記一般式(I) 〔一般式(I)中、3個のRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜11のアシルオキシ基、炭素数6〜10のアリール基、-CX3(3個のXはそれぞれ独立にハロゲン原子である)、-NR′3+(3個のR′はそれぞれ独立に炭素数1〜3のアルキル基である)、-NO2又は-CNを示す〕で表される化合物及び(D)前記(A)、(B)、(C)を溶解する溶剤を含んでなる樹脂組成物。
IPC (6件):
H01L 21/312 ( 200 6.01) ,  C08J 9/26 ( 200 6.01) ,  C08K 5/00 ( 200 6.01) ,  C08L 31/02 ( 200 6.01) ,  C08L 71/08 ( 200 6.01) ,  C08L 101/00 ( 200 6.01)
FI (6件):
H01L 21/312 A ,  C08J 9/26 102 ,  C08K 5/00 ,  C08L 31/02 ,  C08L 71/08 ,  C08L 101/00
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)
  • 電子写真感光体
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-273413   出願人:新電元工業株式会社, 山梨電子工業株式会社
引用文献:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)
  • 岩波 理化学辞典 第5版, 19980220, 第5版, 第698頁

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