特許
J-GLOBAL ID：201103031914641280
光導波路グレーティング素子製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
, 柴田 昌聰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-203543
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033610
特許番号：特許第4329173号
出願日： 1999年07月16日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 1つの光導波路に複数のグレーティングを順次に作製して光導波路グレーティング素子を製造する光導波路グレーティング素子製造方法であって、
前記複数のグレーティングそれぞれについて前記光導波路に屈折率変調を誘起してグレーティングを形成するグレーティング形成工程と、
前記複数のグレーティングのうち最後に作製されるグレーティングおよび他の何れか1以上のグレーティングそれぞれについて前記グレーティング形成工程の後に前記光導波路を加熱処理する加熱工程と、
を備え、
前記加熱工程の際の加熱温度は、前に作製されたグレーティングについての前記加熱工程の際の加熱温度より低く、
前記複数のグレーティングのうち最初に作製されるグレーティングについて、前記グレーティング形成工程では、前記光導波路の透過特性をモニタしながら紫外光を照射し、そのモニタされた光のスペクトルすなわち透過特性が所望の特性となった時点で紫外光照射を終了して、前記加熱工程を行わない場合には前記グレーティング形成工程終了時のグレーティングの透過特性を記憶し、前記加熱工程を行う場合には前記加熱工程終了時のグレーティングの透過特性を記憶し、
前記複数のグレーティングのうち最初および最後に作製されるグレーティングを除く他のグレーティングそれぞれについて、前記グレーティング形成工程では、前記光導波路の透過特性をモニタしながら紫外光を照射し、そのモニタされる透過特性と記憶されている作製済みのグレーティングの透過特性とから作製途中のグレーティングの単体の透過特性を求め、この求められた作製途中のグレーティングの単体の透過特性が所望の特性となった時点で紫外光照射を終了して、前記加熱工程を行わない場合には前記グレーティング形成工程終了時のグレーティングの総合透過特性を記憶し、前記加熱工程を行う場合には前記加熱工程終了時のグレーティングの総合透過特性を記憶し、
前記複数のグレーティングのうち最後に作製されるグレーティングについて、前記グレーティング形成工程では、前記光導波路の透過特性をモニタしながら紫外光を照射し、そのモニタされる透過特性と記憶されている作製済みの総合透過特性とから作製途中のグレーティングの単体の透過特性を求め、この求められた作製途中のグレーティングの単体の透過特性が所望の特性となった時点で紫外光照射を終了する、
ことを特徴とする光導波路グレーティング素子製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/18 ( 200 6.01)
, G02B 6/02 ( 200 6.01)
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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