特許
J-GLOBAL ID：200903046442003128
光導波路型グレーティングの作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-191520
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038247
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 所望の特性の光導波路型グレーティングを高精度に作製できる方法を提供する。【解決手段】 本発明は、所定の光の照射により屈折率変化を生じる感光性光導波路を用意し、この光導波路の所定部分に感光性向上材を添加する第1工程と、この所定部分に含まれる所定箇所に光を照射して光導波路型グレーティングを書き込む第2工程と、光導波路の前記所定箇所から感光性向上材を除去する第3工程と、を備えており、第1工程の後、第2工程に先だって、第3工程による光導波路型グレーティングの遮断波長の変化量を予測する第4の工程を更に備えている。本発明では、第2工程で書き込むグレーティングの遮断波長を、第4工程で求めた遮断波長変化量の予測値に応じて制御することで、精度良く光導波路型グレーティングを作製する。
請求項（抜粋）：
所定の光の入射により屈折率変化を生じる感光性光導波路を用意し、この光導波路の所定部分に感光性向上材を添加する第1工程と、前記所定部分に含まれる所定箇所に前記光を入射させて光導波路型グレーティングを書き込む第2工程と、前記光導波路の前記所定箇所から前記感光性向上材を除去する第3工程と、を備える光導波路型グレーティングの作製方法であって、前記第1工程の後、前記第2工程に先だって、前記第3工程による光導波路型グレーティングの遮断波長の変化量を予測する第4の工程を更に備え、前記第2工程で書き込むグレーティングの遮断波長を、前記遮断波長変化量の予測値に応じて制御することを特徴とする光導波路型グレーティング作製方法。
IPC (3件)：
G02B 6/122
, G02B 6/00 306
, G02B 6/13
G02B 6/12 A
, G02B 6/00 306
, G02B 6/12 M
