基板保持器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 戸津洋介 , 山田行一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-549428
特許番号：特許第4408566号
出願日： 1999年04月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板研磨のための装置と共に用いられる保持器であって、前記装置は基板表面に接触する研磨面を持つ研磨パッドを有し、前記保持器は、環状の本体と、ルーフ部と、前記ルーフ部から垂れ下がり、環状リセスによって前記本体から隔てられた、縦方向に延びる環状スリーブと、を備え、前記スリーブは円筒型の内表面を有し、前記内表面は、基板を係合し、基板研磨中の横方向の動きに対して前記基板を保持する、内側に向いた保持面を形成し、前記保持面は基板周囲を、前記周囲に沿った2つ以上の別個の円周上位置において係合させる、保持器。

IPC (2件)：