特許
J-GLOBAL ID：200903067568105730
フローセンサおよびこれを用いた流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317376
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165731
出願日： 1999年11月08日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 流体の種類の変化に対する高い測定精度を有し、小型化、低コスト化が可能なフローセンサを提供する。【解決手段】 流体の流れの中に設置され、流体の流量を測定する流量測定部52と、流れのない流体の中に設置され、流体の熱伝導率を測定する熱伝導率測定部54とを備えたフローセンサである。流量測定部52および熱伝導率測定部54は、流体を加熱するヒータ16,26と、ヒータ16,26の近傍に配置された温度センサ14,18,24,28、とから構成されている。
請求項（抜粋）：
流体の流れの中に設置され、該流体の流量を測定する流量測定部と、流れのない前記流体の中に設置され、前記流体の熱伝導率を測定する熱伝導率測定部とを有し、前記流量測定部および熱伝導率測定部は、前記流体を加熱するヒータと、該ヒータの近傍に配置された温度センサ、とから成ることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
2F035EA05
, 2F035EA08
, 2G040AA02
, 2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040AB10
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA07
, 2G040CA14
, 2G040CA22
, 2G040CB02
, 2G040DA03
, 2G040DA12
, 2G040DA15
, 2G040DA21
, 2G040EA02
, 2G040EA13
, 2G040EB02
, 2G040FA01
, 2G040GA05
, 2G040GA07
, 2G040HA01
, 2G040HA16
, 2G040ZA05
