固定オリフィス及びそれを用いた排出システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：光石俊郎 , 光石忠敬 , 田中康幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-024577
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219971
特許番号：特許第3542733号
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被蒸着物に化学蒸着を施した後に排出される副生成物を含む排出ガスを排出する排出ラインに配され、細孔を有する薄肉リング状のオリフィスと、該オリフィスを保持すると共に、排出ガスを集合するガス導入口とオリフィス通過後のガスを排出する排出口とを有するオリフィス本体とからなり、上記該オリフィス本体内に、上記オリフィスをガス流れに直交するように所定間隔の間隙を有し、且つ該間隙に所定量の不活性ガスを導入しつつ保持してなることを特徴とする固定オリフィス。

IPC (3件)：