電子写真感光体の製造方法及び電子写真感光体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：宮崎昭夫 , 緒方雅昭 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-302000
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107766
特許番号：特許第4562163号
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】排気可能な反応容器内に導電性基体を設置し、高周波電極に供給した高周波電力によってプラズマを生起させ、導電性基体に設けられた光導電層上に、カーボン原子と、周期律表第13族元素又は第15族元素と、を含むシリコン原子を母体とする非単結晶膜からなる第一の表面層及びカーボン原子を含むシリコン原子を母体とする非単結晶膜からなる第二の表面層を順次積層させる電子写真感光体の製造方法において、層内に含有するカーボン原子の増加に伴って光学的バンドギャップが増加していく関係を満たした領域で該第一の表面層を形成し、層内に含有するカーボン原子の増加に伴って光学的バンドギャップが減少していく関係を満たした領域で該第二の表面層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。

IPC (2件)：

G03G 5/08 ( 200 6.01) , C23C 16/24 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G03G 5/08 303 , G03G 5/08 306 , G03G 5/08 360 , C23C 16/24

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-143768
特開昭61-133948
電子写真感光体および電子写真方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346972 出願人：富士ゼロックス株式会社

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