特許
J-GLOBAL ID：201103033470611609
出力誤差の少ない容量性圧力トランスジューサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
片寄 恭三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120575
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337435
特許番号：特許第4565677号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 容量性圧力トランスジューサを有する圧力センサであって、
第1および第2の対向面と円形の外周部を有する電気的に絶縁性のセラミックから構成される剛性のある基板と、
第1および第2の対向面と円形の外周部を有する電気的に絶縁性のセラミックから構成され、当該第1の対向面が基板の第1の対向面と直面し間隔をもつように前記基板上に取り付けられる比較的柔軟なダイヤフラムと、
電気的に導電性の材料から構成され、前記基板の第1の対向面の中心に配置された検出プレートと、
互いに離間したソースピン、ガードピンおよび検出ピンの収容開口部であって、各収容開口部が、前記検出プレートと前記円形の外周部との中間の位置で前記基板の第1および第2の対向面の間を延在する前記収容開口部と、
前記基板の第1の対向面上に形成され、前記検出プレートから検出ピンの収容開口部まで延在する電気的に導電性の検出トレースと、
前記基板の第1の対向面上に形成された電気的に導電性の検出ガードプレートであって、前記検出ガードプレートは、前記検出プレートに隣接して対向する端部を有する第1の非連続環状部分を有し、当該第1の非連続環状部分はさらに前記検出プレートの周囲に離間して配置され、前記検出ガードプレートはさらに、前記対向する端部のいずれかに隣接する検出ガードプレートの環状部分の位置からガードピンの収容開口部に隣接しかつこれを取り囲みさらに半径方向に外側に延在する第2の部分を有し、当該第2の部分は、前記対向する端部の一方の端部から他方の端部に至るまで検出ピンの収容開口部から離間されかつ連続してこれを取り囲む、前記検出ガードプレートと、
電気的に導電性の材料から構成され、前記ダイヤフラムの第1の対向面の中心に配置され、前記ダイヤフラムが前記基板上に取り付けられたとき、前記検出プレートに整合するソースプレートと、
前記ダイヤフラムが前記基板上に取り付けられたとき、ソースピンおよびガードピンの収容開口部とそれぞれ整合し、かつ前記ダイヤフラムの第1の対向面上に形成されたソースピンおよびガードピンの位置と、
前記ダイヤフラム上に形成され、前記ソースプレートから前記ソースピンの位置まで延在する電気的導電性のソーストレースと、
前記ダイヤフラムの第1の対向面上に形成された電気的に導電性のソースガードプレートであって、当該ソースガードプレートは、第2の対向する端部を有する第1の非連続環状部分を有し、当該第1の非連続環状部分は前記ソースプレートの周囲に離間され、第2の対向する端部は前記ソーストレースに隣接するように離間され、前記ソースガードプレートはさらに、第2の対向する端部のいずれかに隣接する位置から前記ガードピンの位置に隣接しかつこれを取り囲みさらに半径方向に外側に延在する第2の部分を有し、当該第2の部分は、前記対向する端部の一方から他方の端部に至るまでソースピンの位置から離間されかつ連続してこれを取り囲む、前記ソースガードプレートと、
前記基板から離間されたダイヤフラムを維持する電気的に絶縁性のスペーサと、
前記ダイヤフラムが流体受け入れポートに露出されるように前記容量性圧力トランスジューサを収容するハウジングと、
前記ハウジング内に取り付けられ、複数の端子を搭載するコネクタ本体と、
前記容量性圧力トランスジューサと前記コネクタ本体との間に形成された室と、
前記室内に配置され、前記容量性圧力トランスジューサと前記複数の端子に電気的に接続された電気回路と、
を有する圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ( 200 6.01)
, G01L 1/14 ( 200 6.01)
