特許
J-GLOBAL ID：201103034039538917
電子ビーム露光方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 土屋 繁
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171131
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006992
特許番号：特許第4439038号
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子ビームを試料上に収束すると共に偏向して所望の位置に照射する電子ビーム露光方法において、
前記電子ビームの照射であるショット毎の、前記試料に照射された前記電子ビームの電流量と、前記電子ビームの前記試料への照射位置と、前記電子ビームのオン・オフ時間とをパラメータとする式であるチャージアップ演算式に基づいて、当該装置のチャージアップによる前記電子ビームの照射位置のドリフト量を演算し、前記偏向器による偏向量を補正することを特徴とする電子ビーム露光方法。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G21K 1/08 ( 200 6.01)
, G21K 5/04 ( 200 6.01)
, H01J 37/147 ( 200 6.01)
, H01J 37/305 ( 200 6.01)
H01L 21/30 541 D
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, G21K 1/08
, G21K 5/04 M
, G21K 5/04 C
, H01J 37/147 C
, H01J 37/305 B
