単結晶窒化ケイ素ナノシートとその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：社本一夫 , 小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 桜井周矩 , 神田藤博 , 田中英夫 , 細川伸哉 , 深澤憲広 , 平山晃二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-352353
公開番号（公開出願番号）：特開2006-160548
特許番号：特許第4572382号
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】出発原料としてケイ素粉末を用い、窒素雰囲気中で非密封状態の容器中に入れ、1300°C〜1400°C(ケイ素粉末の溶融点以下)の温度及び電気炉内断面積が25cm2あたり0.5l/min以上の窒素ガス流量で、30時間反応させて、1μm×1μm以上で厚みが20nm以下の単結晶窒化ケイ素ナノシートを製造する方法。

IPC (1件)：