マイクロ波放電装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：佐藤一雄 , 玉真正美 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115228
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306892
特許番号：特許第4312877号
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】処理室と、前記処理室に連通した放電管と、前記放電管の周囲に設けられた一対の電極と、前記電極に高周波、高電圧のパルス状電圧を供給し前記放電管内のガスを励起して励起ガスを生成し、グロー放電を行わせるパルス電源と、前記励起ガスにマイクロ波を与えるマイクロ波源と、をそなえ、前記マイクロ波源からのマイクロ波が与えられて前記励起ガスを前記処理室内に供給するようにしたマイクロ波放電装置において、前記パルス電源は、パルス信号源と、このパルス信号源からの信号に応じてスイッチング動作し、パルス電圧を形成するスイッチング素子と、を有することを特徴とするマイクロ波放電装置。

IPC (3件)：