磁気ディスク基板の洗浄装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：清水久義 , 高田健市 , 黒瀬靖久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-124147
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315318
特許番号：特許第4176234号
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】磁気ディスク基板の洗浄装置において、該基板を洗浄水でスクラブするスポンジ状パッドが、洗浄水が底面中央部から分散するように拡がりつつ表面に達するように、内部構造に互いに連通した空隙部を有する格子状のもので、且つ裏面から表面に到る如何なる貫通孔をも有さず、シャフトに回転自在に取り付けたパッドプレートの側端部に設けられたカバー内に、該パッドの上端のみを残して側端面が前記カバーに覆われて取り付けられ、前記パッドの表面に凹部が存在せず、前記パッドが、前記カバー内面に設けられた周方向に亘る突起により保持されてなることを特徴とする磁気ディスク基板の洗浄装置。

IPC (2件)：