特許
J-GLOBAL ID：201103035262002650

半導体回路

発明者：
齋藤 則章

齋藤 則章 について

, 
後藤 邦彦

後藤 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士通マイクロエレクトロニクス株式会社

富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365986
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168917
特許番号：特許第4480880号
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査対象であるモニタを含み2つの端子を有するテスト回路を該端子同士の接続により複数個直列接続した直列接続回路と、 該直列接続回路の一方の端に外部から第1の電圧を供給する端子と、 該直列接続回路の他方の端に外部から第2の電圧を供給する端子と、 前記第1の電圧を供給する端子と前記第2の電圧を供給する端子とは別個の端子であり、外部から電位測定可能な測定端子と、 該直列接続回路から任意のテスト回路を選択し該選択したテスト回路の該2つの端子のうち少なくとも一方を該測定端子に接続する選択手段 を含むことを特徴とする半導体回路。
IPC (4件)：
G01R 31/28 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  H01L 21/822 ( 200 6.01) ,  H01L 27/04 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01R 31/28 V ,  H01L 21/66 Y ,  H01L 27/04 T ,  H01L 27/04 E
引用特許：
審査官引用 (7件)
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