特許
J-GLOBAL ID:201103035398788194

テンプレート作成管理方法、テンプレート及びテンプレート作成管理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (14件): 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明 ,  箱崎 幸雄 ,  出口 智也 ,  山ノ井 傑 ,  木本 大介 ,  重野 隆之 ,  平田 忠雄 ,  角田 賢二 ,  中村 恵子 ,  遠藤 和光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-215247
公開番号(公開出願番号):特開2011-066180
出願日: 2009年09月17日
公開日(公表日): 2011年03月31日
要約:
【課題】子テンプレートに形成されたマークに含まれる親テンプレートに関する管理情報を読み取って親テンプレート及び子テンプレートを管理することができるテンプレート作成管理方法、テンプレート及びテンプレート作成管理装置を提供する。【解決手段】テンプレート作成管理方法は、親テンプレートから少なくとも1つの子テンプレートを作成するとともに、親テンプレートに関する管理情報880Aを生成する工程と、作成された少なくとも1つの子テンプレートに生成された管理情報880Aを含むマーク880を形成する工程と、を含む。【選択図】図11
請求項(抜粋):
親テンプレートから少なくとも1つの子テンプレートを作成するとともに、前記親テンプレートに関する管理情報を生成する工程と、 作成された前記少なくとも1つの子テンプレートに生成された前記管理情報を含むマークを形成する工程と、 を含むテンプレート作成管理方法。
IPC (1件):
H01L 21/027
FI (1件):
H01L21/30 502D
Fターム (4件):
5F046AA28 ,  5F046DD04 ,  5F146AA28 ,  5F146DD04
引用特許:
審査官引用 (5件)
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