マスフローコントローラ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本田崇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-369106
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257609
特許番号：特許第3796437号
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体の質量流量を流量センサで検出し、前記流量の値が所要値となるよう制御バルブを駆動して、所望の質量流量に制御するマスフローコントローラにおいて、制御バルブがソレノイドで駆動されるソレノイドバルブであって、円筒状の導管内の一端側に前記導管の内径とほぼ等しい径の層流素子を配し、前記導管内の他端側に前記導管の内径とほぼ等しい径のプランジャと、前記プランジャの移動により開度が調整される弁部とを配置し、前記層流素子と前記プランジャとの間に前記導管の内径とほぼ等しい径のヨークを配し、前記層流素子及び前記ヨークの表面に、前記導管の軸に平行な流路用の溝が設けられており、前記プランジャの表面には、前記導管の軸に平行な断面形状がほぼU字状の溝であって、当該溝を流れる流体の乱流の発生を防止し、安定したプランジャの動作を可能とする溝が形成されており、前記プランジャを前記導管の軸方向に駆動するソレノイドを前記導管外周部に設けて制御バルブを構成し、流体通路を導管の円筒軸方向としたことを特徴とするマスフローコントローラ。

IPC (3件)：

G01F 1/00 ( 200 6.01) , G01F 1/68 ( 200 6.01) , G05D 7/06 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01F 1/00 X , G01F 1/68 Z , G05D 7/06 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

マスフローコントローラ取付構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-129937 出願人：シーケーディ株式会社, 株式会社東芝
電磁弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-240171 出願人：日本エム・ケー・エス株式会社
電磁弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-101590 出願人：日本エム・ケー・エス株式会社

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