特許
J-GLOBAL ID：201103036200564357

多層セラミック基板の製造方法

発明者：
原田 英幸

原田 英幸 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 小柴 雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349121
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151855
特許番号：特許第4599706号
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガラス成分を含有するセラミック材料粉末を用意する工程と、 前記セラミック材料粉末よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料粉末を用意する工程と、 前記セラミック材料粉末を含有させて、キャビティを形成するための貫通孔を有する第1のガラスセラミックグリーンシートと少なくとも前記貫通孔の位置には貫通孔を有しない第2のガラスセラミックグリーンシートとをそれぞれ作製する工程と、 前記第1のガラスセラミックグリーンシートと前記第2のガラスセラミックグリーンシートとを積層することによって、積層方向での第1の端面に開口を位置させるように前記貫通孔によって形成されたキャビティを有するグリーンシート積層体を得るとともに、前記グリーンシート積層体の前記第1の端面および前記第1の端面に対向する第2の端面に沿って前記収縮抑制用無機材料粉末を含有する第1および第2の収縮抑制層をそれぞれ設け、それによって、前記グリーンシート積層体の前記第1および第2の端面が前記第1および第2の収縮抑制層によってそれぞれ覆われた複合積層体を得る工程と、 前記複合積層体を積層方向にプレスする工程と、 次いで、前記複合積層体の積層方向に荷重を付与しない状態で、前記複合積層体を焼成する工程と を備え、 前記複合積層体において、前記第1の収縮抑制層は、前記キャビティの開口を露出させる貫通部を有し、かつ、前記第1の収縮抑制層は、前記第2の収縮抑制層より高い剛性を有するようにされる、 多層セラミック基板の製造方法。
IPC (1件)：
H05K 3/46 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 T
引用特許：
審査官引用 (4件)
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