特許
J-GLOBAL ID：201103036408040068

半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション

発明者：
アンドレアス マゲス

アンドレアス マゲス について

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ヴェルナー シュレル

ヴェルナー シュレル について

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ヘルベルト ブラシッツ

ヘルベルト ブラシッツ について

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アルフレッド シュルツ

アルフレッド シュルツ について

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ハインツ シュナイダー

ハインツ シュナイダー について


出願人/特許権者：
ブルックス オートメーション (ジャーマニー) ゲーエムベーハー

ブルックス オートメーション (ジャーマニー) ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-373484
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203253
特許番号：特許第4642218号
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体処理装置用のローディング及びアンローディングステーションであって、 ローディング及びアンローディング用の共通の通路を形成する装填用開口を有するフレームと、 昇降装置と、 前記昇降装置に移動自在に接続され、互いに垂直方向に配置され、各々が別々の半導体搬送コンテナを個別に支持する少なくとも2つの搬送コンテナプラットフォームと、 を有し、前記装填用開口は閉じることができ、前記昇降装置は、前記少なくとも2つのコンテナプラットフォームを垂直方向に移動させて前記フレームの装填用開口の前の所定位置に向けて少なくとも2つの搬送コンテナを垂直に移動させ、前記少なくとも2つのコンテナプラットフォームは前記共通の通路と整列する方向において前記装填用開口に近づき若しくは遠ざかるように水平方向に直線移動可能であり、当該直線移動により前記少なくとも2つの搬送コンテナを前記装填用開口に設けられたクロージャに結合して、当該クロージャから延出する回転可能キーが各搬送コンテナのカバーのキー孔に入り、各搬送コンテナの当該カバーをアンロックして保持することによって当該カバーを当該搬送コンテナから取外すことができることを特徴とするローディング及びアンローディングステーション。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  H01L 21/673 ( 200 6.01) ,  B65G 1/00 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65G 1/00 539 ,  B65G 49/07 L
引用特許：
審査官引用 (17件)
  • 特開昭63-022405
  • 特開昭63-022405
  • 特開昭63-017706
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