特許
J-GLOBAL ID：201103037263895570
絶縁性基板の離脱方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335223
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156161
特許番号：特許第4404280号
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 静電吸着装置に設けられ、表面に絶縁性の保護膜が形成された正電極と負電極に、真空雰囲気中で絶縁性基板を吸着できる大きさの正電圧と負電圧をそれぞれ印加し、前記保護膜に密着して配置された前記絶縁性基板を吸着し、真空雰囲気中で処理した後、前記正電極と負電極に前記処理中の印加電圧とは逆極性の電圧を印加した状態で、前記絶縁性基板を前記静電吸着装置から離脱させる絶縁性基板の離脱方法であって、
前記逆極性の電圧の印加後離脱前に前記正負電極を接地電位に置いて前記絶縁性基板を離脱させたときの離脱に要する力と、前記逆極性の電圧の印加後離脱前に前記正負電極をフローティング電位に置いて前記絶縁性基板を離脱させたときの離脱に要する力とのいずれよりも、離脱に要する力が小さくなる状態で前記絶縁性基板を離脱させる絶縁性基板の離脱方法。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, B23Q 3/15 ( 200 6.01)
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
