特許
J-GLOBAL ID：200903084055813862

真空プロセッサのワークピースのチャック解除方法および装置

発明者：
アーサー エム ホーバルト

アーサー エム ホーバルト について

, 
ジョン ピー ホーランド

ジョン ピー ホーランド について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 吉田 精孝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-572987
公開番号（公開出願番号）：特表2002-526935
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：
【要約】真空プラズマ処理チャンバ内で処理されているガラスワークピースは、ワークピースを締め付けるのに十分なほどの高さに電圧を維持しつつ、処理中にチャック電圧を徐々に削減することによりモノポール静電チャックからチャック解除される。処理の最後にチャックに印加される逆の極性電圧が、チャック解除を補助する。ワークピース温度は、チャック解除を補助するために処理の最後で高い値で維持される。ワークピースをチャックから持ち上げる間にチャックを通って流れるピーク電流が、次のチャック解除動作の間の逆極性電圧の振幅および/または期間を制御する。
請求項（抜粋）：
チャックを通ってワークピースまで流れる流体を有し、チャックは、ワークピース処理中にワークピースをインシトゥで保持するためにチャック力をワークピースにかけ、チャックによりワークピースにかけられる力は、流体力およびチャック力の組み合わせを含み、真空プロセッサのチャックからのワークピースのチャック解除を容易にするための方法であって、ワークピースに作用する流体の流量をモニタリングすることにより、ワークピース処理中にチャックによってワークピースにかけられる力を効果的にモニタリングすること、モニタリングされた力に応えてワークピース処理中にチャック力を制御することとを備える方法。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H02N 13/00 ,  C23C 16/458
FI (5件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/31 C ,  H02N 13/00 D ,  C23C 16/458 ,  H01L 21/302 B
Fターム (27件)：
4K030CA06 ,  4K030FA01 ,  4K030GA01 ,  4K030KA45 ,  4K030LA18 ,  5F004BB22 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA09 ,  5F031HA08 ,  5F031HA09 ,  5F031HA16 ,  5F031HA32 ,  5F031HA33 ,  5F031HA35 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031JA01 ,  5F031JA10 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA04 ,  5F045EM05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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