特許
J-GLOBAL ID：201103037665634501
光学要素の収差評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
青山 葆
, 山田 卓二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105168
特許番号：特許第4167778号
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学要素のコマ収差を評価する方法であって、
(a)上記光学要素に光を透過させる工程と、
(b)上記光を回折格子で回折して回折次数の異なる第1と第2の回折光を得る工程と、(c)上記第1と第2の回折光を重ねてシェアリング干渉像を形成する工程と、
(d)上記シェアリング干渉像に複数の点を求める工程とを有し、
上記複数の点には、
上記第1と第2の回折光の軸を結ぶ第1の線の中点である第1の点と、
上記第1の点で上記第1の線を横切る第2の線上に位置する第2の点と、
上記第2の線上に位置し、上記第2の点から上記第1の線に対して対称に位置する第3の点と、
上記第2の線上に位置すると共に上記第1の線の両側に対称に位置し、上記第1の線から所定の距離をあけて配置されている第4と第5の点と、
上記第1の線の両側に配置され、上記第1の線から上記所定の距離だけあけて配置されている第6と第7の点が含まれており、
上記方法はまた、
(e)上記第1から第5の点の光強度を求める工程と、
(f)上記光学要素の光軸に垂直な方向に上記回折格子を移動させて上記シェアリング干渉像における上記第1から第5の点の光強度を変化させる工程と、
(g)上記第1から第7の点のそれぞれの光強度の位相を求める工程と、
(h)上記第1から第7の点における上記位相から上記光学要素のコマ収差を評価する工程と、を含む光学要素の収差評価方法。
IPC (3件)：
G01M 11/02 ( 200 6.01)
, G01J 9/00 ( 200 6.01)
, G11B 7/26 ( 200 6.01)
G01M 11/02 B
, G01J 9/00
, G11B 7/26 531
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
引用文献：
出願人引用 (1件)
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Matsushita Technical Journal, 19991218, 第46巻 第1号, p.719〜726
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