特許
J-GLOBAL ID:201103037950301826
誘導結合プラズマ質量分析装置及び方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
古谷 聡
, 溝部 孝彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-370334
公開番号(公開出願番号):特開2001-185073
特許番号:特許第4585069号
出願日: 1999年12月27日
公開日(公表日): 2001年07月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】 プラズマを発生するための手段と、
試料を前記プラズマに導入して被分析物のイオンを形成するための手段と、
前記被分析物のイオンを前記プラズマから取り入れるための、スキマーコーンを含むインタフェース手段と、
取り入れられた前記被分析物のイオンを移送するためのイオンレンズ手段と、
移送された前記被分析物のイオンを分離する手段と、
分離された前記被分析物のイオンを検出するための測定手段とからなる誘導結合プラズマ質量分析装置であって、
前記インタフェース手段が前記スキマーコーンの背後に順次配置される截頭円錐状の第1及び第2のイオン引き出し電極を少なくとも含み、
前記第1のイオン引き出し電極に正の電圧が印加され、
前記第2のイオン引き出し電極に負の電圧が印加されることを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件):
H01J 49/10 ( 200 6.01)
, G01N 27/62 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01J 49/10
, G01N 27/62 E
引用特許:
出願人引用 (8件)
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誘導結合プラズマ質量分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-175427
出願人:横河電機株式会社
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特表平5-500286
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特開平2-015553
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特開平4-262356
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特開平2-132747
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誘導結合プラズマ質量分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-028683
出願人:日本電子株式会社
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元素分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-009751
出願人:株式会社島津製作所
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特開昭62-064043
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審査官引用 (13件)
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誘導結合プラズマ質量分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-175427
出願人:横河電機株式会社
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特表平5-500286
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特表平5-500286
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特開平2-015553
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特開平2-015553
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特開平4-262356
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特開平4-262356
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特開平2-132747
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特開平2-132747
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誘導結合プラズマ質量分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-028683
出願人:日本電子株式会社
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元素分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-009751
出願人:株式会社島津製作所
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特開昭62-064043
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特開昭62-064043
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引用文献: