特許
J-GLOBAL ID:201103038351854120

薄膜光電変換モジュールの欠陥修復方法及び薄膜光電変換モジュールの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-336094
公開番号(公開出願番号):特開2001-156306
特許番号:特許第4308387号
出願日: 1999年11月26日
公開日(公表日): 2001年06月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板上に第1の電極層、薄膜光電変換ユニット、及び第2の電極層を順次積層した構造をそれぞれ有する複数の薄膜光電変換セルを相互に直列接続してなる直列アレイを具備する薄膜光電変換モジュールの欠陥修復方法であって、 前記複数の薄膜光電変換セルの1つに対して選択的に逆バイアス電圧が印加されるように前記直列アレイを短絡させた状態で前記複数の薄膜光電変換セルの残りに光を照射することにより前記複数の薄膜光電変換セルの前記1つに形成された短絡部を構成している金属材料をその局所的な発熱によって溶融除去するかまたは酸化して該短絡部を絶縁する工程を含むことを特徴とする薄膜光電変換モジュールの欠陥修復方法。
IPC (1件):
H01L 31/04 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 31/04 B
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)

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