研磨用組成物および研磨方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：石田敬 , 鶴田準一 , 古賀哲次 , 西山雅也 , 樋口外治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-526873
特許番号：特許第3781677号
出願日： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水、研磨材料、研磨促進剤、および、ヒドロキシプロピルセルロース及びヒドロキシアルキルアルキルセルロースの少なくとも一方を含む研磨用組成物において、研磨材料はアルミナであり、かつ、研磨促進剤が有機酸又は無機酸塩からなる研磨用組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 ( 200 6.01) , B24B 1/00 ( 200 6.01) , B24B 37/00 ( 200 6.01) , G11B 5/84 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 Z , B24B 1/00 D , B24B 37/00 H , G11B 5/84 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

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